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静电在半导体制造中的危害及解决方案

发布时间:2020-05-22 13:52:42


静电产生方式包括:

接触分离起电(最常见摩擦起电)

静电感应

断裂起电(分裂起电,破碎起电))

剥离起电

离子溅射

传导带电

热电效应(冷冻起电)

压电效应

电解带电

溅泼起电                                                         

危害:

ESD使ESDS元器件硬击穿或失效

ESD使元器件软击穿(结果可能更严重)

静电吸附(影响元器件或整机质量)

ESD电磁辐射引起电磁干扰

防护:等电位连接、接地、中和、屏蔽、增湿、人体静电控制、设计ESD保护,使用KESD除静电设备,能有效出去静电,保护半导体元器件;


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